Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter
Mikroschaltungen sind Widerstande, Kondensatoren und Leiterbahnen in
Dick-oder Dunnschichttechnik. Zusatzliche Elemente, zu denen
insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehoren,
setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem
Buch werden die Herstellungsverfahren fur Schichtbauteile, deren Eigen-
schaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der
Halbleitertech- nik behandelt. Der Band soll dem lngenieur oder Physiker
eine EinfUhrung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in
die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbstandigen Bau
von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beo- bachtungen und
Erfahrungen aus dem Labor fur Dunn-und Dickschichttechnik der
Universitat Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter
dieses Labors, Herrn Dr. T. KallfaB, danke ich fUr seinen hilfreichen
fachlichen Rat und fur die kritische Durchsicht des gesamten Buches.
Viele wert- volle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren
Dipl. -Phys. H. Bae- ger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und
Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr lng. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger
haben samtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger
danke ich fUr die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des
Manuskriptes. lch hoffe, daB der vorliegende Band dazu beitragt, den
hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in
der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine
immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen.
